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Horiba質(zhì)量流量控制器SEC-N100系列特點(diǎn)： 1、直接測(cè)量管道內(nèi)流體的質(zhì)量流量 2、工作穩(wěn)定可靠 3、適應(yīng)的流體介質(zhì)面寬 4、廣泛的應(yīng)用環(huán)境 5、多種實(shí)時(shí)在線測(cè)控功能 6、可擴(kuò)展性好

Horiba質(zhì)量流量計(jì) SEC-E40V SEC-E40V是國(guó)產(chǎn)化的SEC-E40, 進(jìn)口核心部件，國(guó)內(nèi)組裝 具備自動(dòng)調(diào)零功能 高精度 高速響應(yīng) 配備應(yīng)對(duì)各種用途的機(jī)型

horiba IGS氣體質(zhì)量流量計(jì)Z517/Z527MGX IGS接口，EtherCat通訊 小量程0-2sccm，大量程0-50SLM 高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.) 模擬信號(hào)輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

SEC-Z522MGX horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z522/Z532/Z542 小量程0-20sccm，大量程0-200SLM 高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.) 模擬信號(hào)輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z514MGX/Z524MGX 小量程0-2sccm，大量程0-50SLM 高精度：1.0% S.P. (25-100% F.S.);0.25% F.S. (≤25% F.S.) 數(shù)字通訊：DeviceNet

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z512 小量程0-2sccm，大量程0-50SLM 高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.) 模擬信號(hào)輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

數(shù)字式氣體質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z512MGX、Z522MGX多用于進(jìn)口設(shè)備的PEVCVD、MOCVD中，我公司提供進(jìn)口Z514、Z524，保修期1年。

SEC-N122MG質(zhì)量流量控制器Horiba N100 特點(diǎn)：1、最小流量1sccm，最大流量1000SLM；2、最高精度0.3% ；3、不受壓力影響；3、可選多種數(shù)字通訊：RS485、profibus、cc-link、EtherCAT、DeviceNet。

Horiba氣體質(zhì)量流量計(jì)SEC-N172R/SEC-N176R特點(diǎn)： 通訊模式：數(shù)字式、模擬式； 滿量程范圍 ：0-300SLM , 可選0-500SLM，0-1000SLM； 模擬輸出、數(shù)字通訊二選一。